一种硅片化学腐蚀用花篮 |
专利号:201520549440.2 |
申请人/专利权人:张家港国龙光伏科技有限公司 |
发明设计人:梅超 隆霹显 陈志运 王世贤 张华 陈清波 杜教峰 |
专利描述:本实用新型涉及一种硅片化学腐蚀用花篮,包括花篮框架、底板,花篮框架设有角度调整机构;底板顶面设有定位条,定位条长度方向与底板的转动轴线一致,定位条侧面与底板顶面垂直,硅片盒底部设有滑条,滑条两端设 ... |
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专利描述:本实用新型公开了基于硅片加工用花篮结构的夹持定位机构,它包括夹紧机构和升降机构,夹紧机构包括左、右对称设置的左、右定位夹板,水平矫正机构以及夹持动作机构,在左、右定位夹板的内侧分别安装有定位夹爪, ... |
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