一种脉冲溅射电源 |
| 申请号/专利号： |
201510119733.1 |
申 请 日： |
2015-03-19 |
| 名 称： |
一种脉冲溅射电源 |
| 公开(公告)号： |
104753386A |
公开(公告)日： |
2015-07-01 |
| 主分类号： |
H02M9/06(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
H02M9/06(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西 |
| 发明(设计)人： |
李红泽 窦久存 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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| 专利描述： |
| 一种脉冲溅射电源，包括顺序连接的三相整流电路、逆变电路、高频变压器、整流滤波电路、脉冲发生电路；其特征在于：包括中央处理器、驱动电路、信号采集模块、保护模块、上位机、液晶显示模块、信号输入模块；所述中央处理器为ARM系统；所述信号采集模块包括电压采样电路、电流采样电路；所述保护模块包括过流及短路保护电路；本发明解决现有技术中功率开关管过多造成的电源可靠性下降，提供一种动态特性好、成本较低、控制简单可靠、具有能量回馈的一种脉冲溅射电源。本发明还公开了一种基于上述脉冲溅射电源的控制方法。 |
| 标签：标先电子 电源 |
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