一种大功率中频溅射电源 |
专利号:201520154994.2 |
申请人/专利权人:唐山标先电子有限公司 |
发明设计人:李红泽 窦久存 |
专利描述:一种大功率中频溅射电源,包括顺序连接的空气开关、快恢复保险管、三相全桥整流电路、滤波电容、DC/DC变换器、DC/AC变换器;其特征为:所述DC/DC变换器由斩波控制电路控制;所述DC/AC逆变器由逆变控制电路控制; ... |
|
一种脉冲溅射电源 |
专利号:201510119733.1 |
申请人/专利权人:唐山标先电子有限公司 |
发明设计人:李红泽 窦久存 |
专利描述:一种脉冲溅射电源,包括顺序连接的三相整流电路、逆变电路、高频变压器、整流滤波电路、脉冲发生电路;其特征在于:包括中央处理器、驱动电路、信号采集模块、保护模块、上位机、液晶显示模块、信号输入模块;所 ... |
|
|
|
|