一种石英舟 |
申请号/专利号: |
CN200920068241.4 |
申 请 日: |
2009.02.26 |
名 称: |
一种石英舟 |
公开(公告)号: |
CN201374326Y |
公开(公告)日: |
2009.12.30 |
主分类号: |
H01L21/687 |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
H01L21/687; H01L21/324; H01L21/22; H01L31/18 |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
上海市闸北区江场三路36号 |
发明(设计)人: |
魏亚涛;王晨光 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
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代 理 人: |
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专利描述: |
本实用新型公开了一种石英舟,包括支撑框架和支杠组件,所述的支杠组件由安装在支撑框架上的一对上支杠和一对下支杠组成,所述的一对上支杠由对称设置的左上支杠和右上支杠组成,所述的一对下支杠由对称设置的左下支杠和右下支杠组成,所述一对上支杠所在的平面与一对下支杠所在的平面相平行,所述石英舟还具有硅片安装定位机构,硅片承托在所述安装定位机构上。本实用新型的石英舟可有效降低硅片在装舟过程中出现的碎片率高、装舟用时长等问题,显著提高工作效率。 |
标签:晶澳太阳能 石英舟 |
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