本发明公开了一种带有内加热器的PECVD系统,包括真空室和置于真空室内的可移式等离子箱,所述真空室的外周四壁上设有加热板,所述可移式等离子箱至少为两个,各可移式等离子箱平行排列于真空室内,各可移式等离子箱之间设有用于使真空室内均匀受热的内加热器。此装置大大提高了单室沉积系统的产量,又避免传统加热方式造成的温度分布不均衡问题,本发明有效解决了在带有TCO的玻璃衬底上沉积的硅基薄膜的厚度不均匀性,提高了大面积硅基薄膜太阳电池的性能,为研发大面积PECVD薄膜沉积系统奠定了基础,有力推动硅薄膜电池技术产业化。 |