四管道库特勒湿法刻蚀新型盖板 |
| 申请号/专利号： |
201220660373.8 |
申 请 日： |
2012-12-05 |
| 名 称： |
四管道库特勒湿法刻蚀新型盖板 |
| 公开(公告)号： |
202936481U |
公开(公告)日： |
2013-05-15 |
| 主分类号： |
C23F1/08(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
C23F1/08(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
221621 江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路1号 |
| 发明(设计)人： |
许成德 陈冬维 肖培玉 闵祥波 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
江苏圣典律师事务所 32237 |
代 理 人： |
贺翔 |
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| 专利描述： |
| 本实用新型公开了四管道库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道，蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根，并且位置相互交错，各抽风管道的管道口处于同一水平面，所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为7-9cm。本实用新型增加了抽风管道，降低了抽风管道与液面距离，解决刻蚀方块电阻上升值过大和抽风不稳定性。 |
| 标签：刻蚀 中宇光伏 |
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