一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备 |
| 申请号/专利号： |
201611050275.1 |
申 请 日： |
2016-11-25 |
| 名 称： |
一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备 |
| 公开(公告)号： |
106475878A |
公开(公告)日： |
2017-03-08 |
| 主分类号： |
B24B27/00(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
B24B27/00(2006.01)I B24B41/02(2006.01)I B24B47/04(2006.01)I B24B47/20(2006.01)I B24B49/00(2012.01)I B24B55/00(2006.01)I B24B55/06(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号 |
| 发明(设计)人： |
曹建伟 沈文杰 严浩 傅林坚 吴兵兵 何守龙 谢龙辉 王凯 邱敏秀 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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| 专利描述： |
| 本发明涉及单晶硅棒加工设备，旨在提供一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备。包括呈长条形的大底架，在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨；磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上，由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动；在大底架的两侧共设有四个用于承载的平台：分别用于承载粗磨动力头组件、精磨动力头组件、上料机械手组件和对中机械手组件；在大底架上，还设有晶向检测装置和半径检测单元。本发明大大提升了晶棒滚磨设备的加工范围和加工能力，实现硅棒的自动对中；提高加工效率，节约人力和物流的成本；能保证设备长久及稳定的高精度运行；显著降低生产噪声；不产生有机物排放，废弃物也更少，保护生态环境。 |
| 标签：晶盛机电 单晶硅 |
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