用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置 |
申请号/专利号: |
201611083551.4 |
申 请 日: |
2016-11-30 |
名 称: |
用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置 |
公开(公告)号: |
106670931A |
公开(公告)日: |
2017-05-17 |
主分类号: |
B24B19/22(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
B24B19/22(2006.01)I B24B41/00(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号 |
发明(设计)人: |
傅林坚 沈文杰 严浩 周锡峰 宛沪生 王凯 何守龙 邱敏秀 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
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代 理 人: |
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专利描述: |
本发明涉及单晶硅棒滚磨,旨在提供一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置。该种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置包括水平移动组件、竖直移动组件;水平移动组件用于实现竖直移动组件的水平前后移动,竖直移动组件包括竖直导轨座、电机座组件、机械手爪,用于确保单晶硅棒与机床工作时的运动线路同轴。本发明具有对中精度高、设备结构紧凑、维护方便,生产成本低等优点,能够实现与六自由度机械手完美的衔接。 |
标签:晶盛机电 单晶硅 |
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